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蛍光X線膜厚測定機

xrei

X線管より発生したX線をサンプルに照射し、2次的に発生する各元素特有の波長をもつ蛍光X線を高感度の計測管でスペクトル分析を行う装置である。
スペクトル種類により各元素が特定出来るうえに、スペクトルの強度により各元素の質量や膜厚や濃度に換算できる。
この装置は高度なソフトウェア処理により、高感度の定性分析と定量分析が非破壊でできる高速分析装置となっている。